MEMS光スキャナー（光走査素子）は，Siミラーを機械的な共振によりねじれ振動させ，レーザー光線などを走査するデバイスで，各種センサーやレーザープリンターに応用され始めている。2次元走査することで，従来のCRTディスプレイと同様の原理で動画表示が可能で，ヘッドマウント・ディスプレイ，ヘッドアップ・ディスプレイ，大画面レーザーディスプレイにも応用できる。最近では，携帯型プロジェクターのコンポーネントとして，この素子を利用した数cm角の小型光走査モジュールの開発が急速に進展して いる。
　 このような光スキャナーを用いて，高画質のプロジェクションディスプレイを実現するためには，特に高速の水平走査が必要であり，大画面ディスプレイや低消費電力の小型プロジェクターを実現するためには，大きな走査角度や少ない消費電力の動作が必要となる。
　 図1は，今回新たに開発された光スキャナーである。素子フレーム部に取り付けられた圧電体による曲げ振動モードで板波（ラム波，Lamb wave）を発生させ，この板波の節の部分をミラーを支持するヒンジの付け根近傍に一致させることで，高効率にミラー部にねじれ振動を誘起する。駆動源をミラー部から離れた位置に配置することで，物理原理に忠実な非常にシンプルな共振構造とすることができ，高い走査精度のねじれ振動が誘起できる。また，駆動源の面積も容易に大きくでき，発生エネルギーも大きくなるため，大型のミラーを高い共振周波数で，かつ大きな走査角度で駆動できるようになる。
　さらに，これまでSi材で作製されていた光スキャナーを，自動車部品として利用される安価で高強度・高弾性の金属バネ材料にすることで，耐衝撃性も増し，デバイスの大幅な低コスト化にも成功した。光走査性能としては，携帯型プロジェクター用途に十分な直径1mm角以上のミラーサイズ，30kHzの高速走査で，従来比で10倍の大きな走査角度（ミラーねじれ角），あるいは，従来比で1/10の駆動電圧（消費電力）を実現した。
　 　図2は，この光スキャナーと蛍光体スクリーンを用いて実現したレーザーTV（レーザートロン）である。ブルーレイ用の405nmなどの半導体レーザーを，この光スキャナーで2次元走査し，スクリーンに埋め込まれた蛍光体を励起し，従来のCRTテレビのようにカラー動画を形成している。このような方式のレーザーTVは，従来のリアプロジェクション方式と異なり，自発光デバイスであり，視野角が広く，スペックルノイズがなく，輝度むらも小さい。超低消費電力の大型テレビを安価に実現できる可能性もある。