EUV光源で出力108W，24時間の安定発光に成功国立研究開発法人新エネルギー・産業技術総合開発機構とギガフォトン(株)　研究グループ

　国立研究開発法人新エネルギー・産業技術総合開発機構とギガフォトン(株)の研究グループは，現在開発中のEUVスキャナー用レーザー生成プラズマ（LPP）光源のプロトタイプ機を開発し，エネルギー安定性平均0.5％以下で，ロジック生産適用可能レベルである出力108Wの安定発光を，24時間連続運転で成功したと発表した。
　今回，このLPP光源のプロトタイプ機で開発を続けてきた，20μm以下の微小ドロップレットの供給技術，短波長の固体レーザーによるプリパルスとCO2レーザーによるメインパルスの組み合わせ，磁場を使ったデブリ除去技術をより進化させ，さらにエネルギー制御技術の改善により，量産工場での使用を模擬した運転パターンで，エネルギー安定性平均0 .5％以下で，108W，24時間の連続稼働を達成した。108Wという出力はロジック生産適用可能レベルでもある。
　今後，2015年中に高出力検証機を稼働させ，メモリー等への量産対応目安である250Wレベルの連続稼働を目指すとしている。