第25回光反応・電子用材料研究会講座「次世代の微細加工技術~更なる高密度化を目指して~」
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概要
- 日時
- 2016年1月20日(水)10:00~16:55
- 場所
- 東京理科大学 森戸記念館 B1F 第一フォーラム(〒162-0825 東京都新宿区神楽坂4-2-2)
- プログラム
- 1.「High-χ系ブロック共重合体の材料設計と配向制御」早川晃鏡(東工大院理工・JSTさきがけ)
2.「誘導自己組織化ブロックコポリマーを用いた分子転写法の開発」井上武治郎(東レ)
3.「半導体プロセス向けDSA材料の実用化に向けて」永井智樹(JSR)
4.「兵庫県立大学におけるEUVレジスト評価系の開発」渡邊健夫(兵庫県大高度産研)
5.「ナノインプリントリソグラフィの現状と界面機能分子制御」中川 勝(東北大多元研)
6.「モルフォ蝶の微細構造をまねた構造色製品」広瀬治子(帝人)
- 定員
- 80名
- 参加費
- 企業:14,040円,大学・官公庁:5,400円,学生:2,160円,名誉会員・終身会員・フェロー・ゴールド会員・シニア会員:2,160円(光反応・電子用材料研究会メンバー 企業:10,800円,大学・官公庁:4,320円)
- 申し込み方法
- 下記URLから申し込む。
- 締め切り
- 2016年1月19日(火)
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