光の極薄シートでナノ加工東京農工大学

　東京農工大学の研究グループは，硬質セラミックスの一種であるダイヤモンド状炭素薄膜表面に，光の持続時間が7フェムト秒（厚さにして2 μm）のレーザー光を照射するだけで，周期が60 nmのナノ構造体を表面から直接削り出せる現象の原因が，極薄の電子層に発生した短距離伝搬型表面プラズモン・ポラリトンであることをつきとめたと発表した。この現象をうまく利用することにより，固体表面にフェムト秒レーザー光を照射するだけで数nmから数10 nｍの溝や穴を掘ることができるため，複雑なプロセスや薬剤が不要な微細加工技術の実現が期待される。また，レーザー光を照射する位置を変えるだけで加工部分を移動できるため，加工材料の大きさに制限がなく，メートルサイズの領域へのナノ加工も容易になる。