目盛り誤差1nm以下の「超高精度なものさし」を実現産業技術総合研究所，(株)ニコン

産業技術総合研究所と(株)ニコンは共同で，リニアエンコーダー（高精度加工機械などに組み込まれる「ものさし」）の高精度化に取り組み，nm以下の誤差の目盛を実現したと発表した。産総研では，光の干渉を利用した変位計の開発により，十分な正確さ（0.1 nm以下の誤差）での長さ測定技術を既に確立しており，その技術で，ニコンが開発したリニアエンコーダーが1nm以下の目盛の誤差であると実証できると考え，共同研究を開始したところ，誤差が数10ピコメートル（pm，1nmの千分の1）以下の変位計を実現した。今後，半導体素子や光学素子の加工精度の向上へが期待される。