鉄スズ磁石の薄膜でフレキシブルホール素子を実現東北大学　研究グループ

　東北大学の研究グループは，鉄とスズからなる合金系磁石の薄膜を作製し，形状を変えられるフレキシブルな磁気センサー（ホール素子）として利用可能であること を実証した。
　各種エレクトロニクス分野において，磁場を電気的に検出することのできる磁気センサーの需要が高まっている。磁気センサーは，半導体ホール素子が一般的だが，近年，磁石の性質を活用するホール素子にも注目が集まっている。この新型素子は，半導体素子の弱点を補う反面，磁場を電気信号に変換する性能が低いという欠点 があった。
　同グループでは，この欠点を克服した新型素子を開発すべく，鉄スズ合金に着目して薄膜を作製した結果，広い温度・磁場範囲で優れたセンサー特性が得られること を明らかにした。この薄膜は，産業でも広く用いられている薄膜合成手法（スパッタリング法）によって容易に作製でき，さらに室温での素子作製が可能である。
　これにより，関連する金属系磁石薄膜を用いた磁気センサー開発が前進するとともに，従来の半導体素子とは異なる磁石の特性を活用した，新たな応用研究が今後加 速するものと期待される。