精密かつ高速のナノアクチュエータを開発 ～酸化物MEMSが拓く精密動作マイクロロボティクス～大阪大学，イタリアCNR，ジェノバ大学 研究グループ
大阪大学 産業科学研究所
精密かつ高速のナノアクチュエータを開発 ～酸化物MEMSが拓く精密動作マイクロロボ...
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