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機械学習により薄膜作製プロセスの高速化を実現

物質・材料研究機構と東京大学の研究グループは,材料開発に欠かせない薄膜作製プロセスに機械学習を応用することで,高品位な試料を作製する最適条件の探索を高速化する技 …