光エレクトロニクスの玉手箱 2017年5月号-補足
図3 フーコー法の原理
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図4 非点収差法の原理
![](https://www.adcom-media.co.jp/wp-content/uploads/2017/04/Fig04.gif)
図5 非点収差回折格子レンズ (a) 2値(バイナリー)型 (b) ブレーズ型
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G. Hatakoshi and K. Goto: Appl. Opt., Vol. 24, 4307 (1985); 井出和彦,波多腰玄一: “焦点検出用グレ-ティングレンズの試作・実験”, 昭59春応用物理学会, 30a-K-1 (1984)
図6 δzを変化させた場合の,回折光ビームパターンの観測結果
(第27章の図13再掲)
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![](https://www.adcom-media.co.jp/wp-content/uploads/2017/04/Fig06b.gif)
G. Hatakoshi and K. Goto: Appl. Opt., Vol. 24, 4307 (1985)
図7 スポットサイズ法の原理
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図8 3ビーム法における主ビームスポットと副ビームスポット
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図9 位相差法の原理
![](https://www.adcom-media.co.jp/wp-content/uploads/2017/04/Fig09.png)