エネルギー効率を飛躍的に高めるEUVリソグラフィー先端半導体製造技術沖縄科学技術大学院大学
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沖縄科学技術大学院大学は、これまでの先端半導体製造の常識を覆す、わずか４枚の反射ミラーで構成されたEUVリソグラフィー（極端紫外線露光技術）を提案した。EUVリソグラフィーの心臓部であるプロジェクター（フォトマスクの画像をシリコンウェハに転写する）は、わずか2枚の反射ミラーで構成され、天体望遠鏡に似た構成。従来のEUVリソグラフィーでは、少なくとも６枚の反射ミラーが必要とされていた。
本設計によるEUVリソグラフィーは小型のEUV光源でも動作するため、コストを削減し、信頼性と寿命を飛躍的に向上させる。また、消費電力は従来の10分の1以下となり、半導体業界のSDGs目標達成にも貢献する。
