第6回EUV-FELワークショップ

概要

日時

2022年1月18日（火）13：00～17：00

場所

オンライン開催（zoom）

プログラム

【基調講演1】東 哲郎（元 東京エレクトロン）
【基調講演2】小池淳義（Western Digital Japan）
【招待講演1】Zhilong Pan（清華大学）
【招待講演2】中村典雄（KEK）
【招待講演3】溝口 計（ギガフォトン）
【招待講演4】「EUVリソグラフィー用減衰位相シフトマスクの挑戦」庄木 勉（HOYA）

使用言語

英語

定員

300名

参加費

無料

申し込み方法

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