EUV光源で平均60W，24時間連続稼働を達成新エネルギー・産業技術総合開発機構，ギガフォトン(株)　研究グループ

　新エネルギー・産業技術総合開発機構，ギガフォトン(株)の研究グループは，現在開発中のEUVスキャナー用レーザー生成プラズマ（LPP）光源のプロトタイプ機において，量産工場での使用を模擬した運転パターンにて平均60W，24時間の連続稼働を達成したと発表した。

　今回，20μm以下の微小ドロップレットの供給技術，短波長の固体レーザーによるプリパルスとCO2レーザーによるメインパルスの組み合わせ，磁場を使ったデブリ除去技術を，より進化させたことによって達成された。これは，現状半導体工場で稼働しているEUVスキャナーに対して，約20％のスループット向上が見込める成果であり，量産対応EUVスキャナーの実現に向けて大きく進捗したことを意味している。

　今後，ギガフォトン(株)は，2015年中に高出力検証機を稼働させ，メモリー等への量産対応目安である250Wレベルの連続稼働を目指し，更なる研究開発に取り組むとしている。