高電圧処理不要で高い性能を示す圧電体膜の低温作製に成功
東京工業大学
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高電圧処理不要で高い性能を示す圧電体膜の低温作製に成功 高性能の圧力・加速度セ...
要点 高電圧処理を必要としない圧電体膜の作製に成功 酸化物膜では最高値であり、窒化物膜にも匹敵するセンサ性能定数を達成 力を利用したセンサおよびエナジーハーベスタ(振動発電機)への応用に期待 概要 東京工業大学 物質理工学院 材料系の舟窪浩教授(元素戦略研究センター兼任)、舘山明紀大学院生(博士後期課程2年)、伊東良晴博士研究員、工学院 電気電子系の黒澤実准教授と折野裕一郎研究員らの研究グループは...