高周波／パワーデバイスの2次元電子ガスの可視化に成功～最先端マテリアルの画期的な計測技術～東京大学，ソニーグループ

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JST戦略的創造研究推進事業において，東京大学の研究グループは，ソニーグループ株式会社と共同で，電子顕微鏡を用いた局所電場観察の新手法により，半導体界面の数ナノメートル領域に蓄積した2次元電子ガスの可視化および定量化に成功したと発表した。
東京大学工学部
高周波／パワーデバイスの２次元電子ガスの可視化に成功 ～最先端マテリアルの画期...
https://www.t.u-tokyo.ac.jp/press/pr2023-03-22-001
● 半導体界面にナノメートルスケールで蓄積した電子キャリアを可視化することは極めて困難であった。 ● 電子顕微鏡を用いた新しい計測手法により、窒化ガリウム（ＧａＮ）系半導体界面の数ナノメートル領域に局在する２次元電子ガス注１）の直接観察に成功した。

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