高エネルギーX線をサブμmに集光する反射鏡を開発　－厚い金属試料内部の狭領域観察が可能に－高輝度光科学研究センター，理化学研究所

　高輝度光科学研究センターなどのグループは、 大型放射光施設SPring-8において、高エネルギー（100 keV）のX線をサブマイクロメートルに集光する多層膜集光ミラー（反射鏡）を開発した。
　本研究では高スループット（集光力）の多層膜集光ミラーを開発し、高エネルギーX線を無駄なくサブマイクロメートルに集光できた。この集光ビームは金属ケースで覆われたデバイスの内部構造や厚い鉄鋼材料内部の局所構造の観察へと既に研究が展開されている。
　SPring-8の特徴の1つに明るい高エネルギーX線を利用できることがある。高エネルギーX線を小さなビームに集光することで厚い金属試料などの内部構造を細かい観察が実現できる。


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高エネルギーX線の非常に明るいサブマイクロビームを形成 ～厚い金属試料内部のマ...
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大型放射光施設(SPring-8)は、世界最高性能の放射光を利用することができる大型の実験施設であり、国内外の研究者に広く開かれた共同利用施設として、物質科学・地球科学・生命科学・環境科学・産業利用などの分野で優れた研究成果をあげています。本施設の運営は、財団法人高輝度光科学研究センターが行っています。