EUV（極端紫外）光源を高効率化するためのマルチレーザー照射法宇都宮大学，東京大学，九州大学，理化学研究所，米国パデュー大，アイルランド国立大学 ダブリン校，広島大学
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宇都宮大学などのグループは、極端紫外 [Extreme ultraviolet（EUV）] 光源を高効率化するためのマルチレーザービーム照射法を提案し、EUV光源の高効率化を実験的に実証した。この成果は、現在稼働している駆動レーザー装置の増幅器への負荷や今後の固体レーザーの媒質損傷を回避できるものであり、将来の駆動レーザー装置の大幅な小型化・低電力化につながる。
EUV露光機の消費電力のほとんどはEUV光源による。EUV光源の高出力化には、駆動用レーザー（プラズマ加熱用レーザー）である炭酸ガス(CO2)レーザーの増幅器を増やすことで、消費電力も莫大なエネルギーとなる課題がある。EUV光源の高出力化のため特に克服すべき要素技術が (a) 駆動用レーザーの消費電力低減、 (b) EUV光源の高効率化、である。 同グループは、(a) の手法に、1ビームあたりのエネルギーを下げて複数ビームを照射し、(b) EUV光源を高効率化できることを示した。これにより、現在使われるCO2レーザーシステム全体を高出力化せずに、複数ビームの照射でEUV光源を高効率化できる。また、固体レーザーでも複数ビームで高効率化できることを明らかにした。駆動用レーザーの消費電力を抑制できることでEUV光源の高出力化と省エネ化に大きく貢献できる。
