ダイヤモンド表面の個々の原子の可視化に成功東京大学，産業技術総合研究所
-
東京大学などのグループは、ダイヤモンド表面を原子レベルで観察する技術を開発した。ダイヤモンドは究極の半導体として、パワーデバイスや量子デバイスの材料として注目される。デバイスの製作過程において、微細加工技術で作製される微小なデバイスであるほど、原子レベルの欠陥がデバイス性能へ及ぼす影響が無視できない。デバイスの性能向上には、ダイヤモンド表面を原子スケールで評価することが必要である。
本グループは、原子間力顕微鏡を用いることでダイヤモンド表面の個々の炭素原子の可視化に世界で初めて成功した。本手法により、原子スケールのダイヤモンドの分析への道が開けたため、今後ダイヤモンド薄膜の成長機構の解明や、ダイヤモンドデバイスの性能向上に大きく貢献することが期待できる。
