非接触CMMの例

　最後に，非接触CMMの例をご紹介します。画像プロービングシステム付き座標計測機は，カメラを3次元測定機のXYXに載せて，カメラで測定するものです。この受入検査については，JIS B7440-7が対応しています。画像3次元測定機の長さ測定誤差は，スケールを様々な方向においてスケールの間隔を測定することによって評価します。また，プローブ誤差については，円形の基準を測り，評価をします。測り方はいろいろあります。1つの画面内で測るやり方や，画面を動かしながら測るやり方があり，画面プローブの移動を伴う場合も，画面内での測定も，円の寸法や形状によって誤差を評価することになります。
　JIS B7440-8は，光学式距離センサー付き座標測定機です。これは，点測定センサー，線測定センサー（ラインスキャン），面測定センサー（縞投影）などの光学式距離センサーを3次元測定機に搭載したシステムの受入検査です。プロービング形状やプロービング寸法の誤差は球を測定し，長さ測定誤差はボールアレイを測定し，平面平常測定誤差については平面を測定します。
　ここまでは，3次元測定機に非接触センサーが付いたものでしたが，JIS B7440-13では光学式座標システムが予定されています。日本が中心となりISOとしてはすでに発効されています。これは，パターン投影やフリンジ投影，スキャンされた線の投影・掃引など，非直交CMSによる光学式3D-CMSの受入検査です。やり方は同じで，2つのボール間距離を測定機で測り，ボールの位置を変えることでそれがどれくらいバラつくか，全体的にはどれくらいの誤差があるかを評価します。寸法測定誤差については，ボールアレイを様々な方向に置いて測定し，平面形状測定誤差は，様々な方向に平面を置いて平面の誤差を評価します。
　いくつか例を示しましたが，画像や距離センサーを3次元測定器に搭載して使うものと，切り離して単独で使うものの受入検査については，ISOができたので，測定装置間の比較などもできるようになってきています。

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